| Other | ロボット 修理 / オーバーホール / Exchangeリスト | |
| メーカ | 型式 | 使用装置 |
| AMAT | P5000 | P5000 |
| Canon | ES3 | Canon |
| Genmark | GB4P | |
| Genmark | GB4 | ASM, Rudolph |
| Genmark | GB4S | ASM, Rudolph |
| Genmark | GB1E | |
| Genmark | GB7 | Suss Coater |
| Genmark | GB8 | Ultratech Stepper ,ESI製 Laser Fuse Processing |
| Hitachi | CR-68 | Hitachi M531A |
| Hitachi | CR-8V | |
| Hitachi | CR-712V | Hitachi |
| Hitachi | U712 | |
| IDE | DAS300 | LEICA |
| JEL | STHR-4203 | |
| JEL | SVHR-2192 | |
| JEL | MTHR-4156 | |
| JEL | SHR シリーズ | |
| JEL | SHR3130-200-PM | |
| JEL | STHR4203-500-PM | GPTC UFO 300 |
| NIKON | WL Slider unit | Nikon S203 |
| NISSIN | Robot hand | NISSIN NH20-SP |
| SEMITOOL | 610T | Semitool |
| TAZMO | R THETA Unit | Nikon NSR2205EX14C |
| TEL | Main ArmZ base | NIKON 5X-I Line |
| TEL | Main ARM | TEL Mark 7/8 |
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